真空干燥箱箱內被加熱板分成若干層。加熱板中通入熱水或低壓蒸汽作為加熱介質，將鋪有待干燥藥品的料盤放在加熱板上，關閉箱門，箱內用真空泵抽成真空。加熱板在加熱介質的循環流動中將藥品加熱到指定溫度，水分開始蒸發隨抽真空逐漸抽走。干燥過程中藥品不易被污染，可以用在藥品干燥、包材滅菌及熱處理上。
比起常規干燥技術具備以下優勢：
1、真空環境大大降低了需要驅逐的液體的沸點，所以真空干燥可以輕松應用于熱敏性物質；
2、對于不容易干燥的樣品，例如粉末或其他顆粒狀樣品，使用真空干燥法可以有效縮短干燥時間；
3、各種構造復雜的機械部件或其他多孔樣品經過清洗后使用真空干燥法，完全干燥后不留任何參與物質；
4、使用更安全-在真空或惰性條件下，完全消除氧化物遇熱爆炸的可能；
5、與依靠空氣循環的普通干燥相比，粉末狀樣品不會被流動空氣吹動或移動。
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